Oberflächenbehandlung und -charakterisierung
- Ellipsometrie
- zerstörungsfreie Untersuchung dielektrischer Schichten im Nanometerbereich
- Bestimmung von Δ und Ψ bzw. ε' und ε" als Funktion der Wellenlänge im Bereich 300..900 nm
- Kontaktwinkelmessung
- Schleuderbeschichtung (Spin Coating)
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